技 术 参 数

• 行程范围：X轴------500mm
  Y轴------600 mm
  Z轴------400 mm
  T轴------360° （可选）
• 传动方式：（德国）高精密光杠+空气轴承+（日本）伺服电机
• 反馈系统：RENISHAW（雷尼绍）开放式光栅尺，分辨率为0.001 mm
• 控制方式：高速PCI 四轴运动控制卡
• 图像采集系统（可选）：（比利时）Euresys 高速图像采集卡+（日本）精工镜头
  + 低照度高分辨率CCD
  X、Y、Z轴的直线度：≤0.005mm
  X、Y、Z轴的定位精度：≤±（2+L/250）μm
• 机台：高精度花岗岩平台
• 使用环境：温度≤85℃，湿度≤95℃
• 整机尺寸：1.2 m X 1.4 m X 2.2 m
• 整机重量：850 kg